技術情報

1）差圧を利用した真空計

a）ブルドン管	b）隔膜真空計

差圧（片方の圧力は通常は大気圧）の力で弾性変形した変位を測定する。

2）熱伝導現象を応用した真空計

c）ピラニー真空計	d）熱電対真空計

気体分子の熱伝導現象を利用する真空計です。気体分子が固体から奪う熱量は圧力に比例するという原理に基づいています

3）放電を利用し気体分子をイオン化

e）ペニング真空計

ガイスラー管と同様に気体の放電現象を利用しますが、電離したイオンの数から圧力を換算するため、定量性があります。冷陰極電離真空計

4）熱電子により気体分子をイオン化

f）電離真空計

加熱したフィラメントから放出された熱電子からイオンを生成し、イオンの生成量が気体分子の密度に比例することを利用して圧力を測定する。測定子を換えると高真空から超高真空領域の圧力を正確に測定する真空計として多用されています。熱陰極電離真空計