Features特長
小型・軽量
コンパクト設計により設置場所を取らず、インライン化に対応
省エネルギー
独自のインバータ回路により、電源力率95%以上の高効率加熱冷却水の自動給水機能により、消費量さらに低減
拡張性
汎用の入出力を装備、また通信による周辺装置との連携により幅広い用途に対応 ※1
多彩な制御
手動,プログラム(温度/出力)、外部制と多彩な加熱制御モードを搭載
視認・操作性
大型カラータッチパネル採用により、高い視認性と操作性を確保
Specification仕様
MU-α Ⅲ
- 電源電圧
- 単相 AC200V±10%,50/60Hz±5%
- 高周波出力
- 最大(常用)4kW(2kW)
- 発振周波数
- 350~450KHz(加熱コイルの仕様による)
- 共振方式
- LC直列共振
- スイッチング方式
- パワーMOS-FETフルブリッジ型インバータ
- 冷却方式
- 水冷式(加熱コイル、共振コンデンサ、高周波トランス、スイッチング素子)・空冷ファン
- 使用冷却水量
- 約1.0L/min(水圧0.25MPaの場合)
- 手動制御
- 定出力制御:ボリュームによる出力調整(0~100%,0.1%刻み)
定温制御:ボリュームによる温度調整(室温~最大値,1°C刻み) - 温度入力 ※5
- 熱電対(K, J, E, W, N, R, S, B, T)
放射温度計(220-2000,300-2000,600-2000,600-3000°C) - 安全装置
- 漏電ブレーカ、速断ヒューズ、冷却水流量、温度、漏水検知、共振モニタリング、センサー異常(断線検出)、温度上・下限過電流、非常停止など
- 汎用入出力
- 入力:8点(内1点は非常停止専用)出力:8点(DC24V、20mA)
- 使用環境
- 屋内使用,高度2000m以下、汚染度2
- 使用周囲温度(湿度)
- 5~40°C(20~85%RH)結露しないこと
- 保存周囲温度(湿度)
- -10~60°C(85%RH以下)結露氷結しないこと
- 制御部
- 400[W]×300[D]×300[H]mm (15kg)
- 加熱部
- 300[W]×300 [D]×280[HImm (12kg)
標準付属品
- 保証書
- 「高周波利用許可申請」の手引き
- コイル端子安全カバー
- 接続丸コネクタケーブル
- 接続AC200ケーブル
- 電源ケーブル(標準5m) 3芯 5.5mm²(8.0mm²)
- 取扱説明書
- 接続D-SUB25Pケーブル
- 接続直流ケーブル
- 給排水チューブ 3m×2本
- 給排水マニホールド(標準5m)φ21×φ15
設備条件(ユーティリティー)
- 供給電源条件単相AC200V10%,50/60Hz±5%,25A以上(αⅣは35A以上)
- 冷却水条件供給圧力:0.25~0.50MPa(差圧0.25以上)
- 供給水温:20°C〜25°C(水温が25°C以上の場合は、冷却水循環装置をご使用ください。)
- 供給水質:上水道(水道水)と同等以上、詳細については(社)日本冷凍空調工業会の冷凍空調機器用水質ガイドラインに準ず(JRA-GL-02-1994)
- その他オプション品の周辺装置で真空排気、ガス供給が必要な場合は、別途ご相談させて頂きます。
MU-α Ⅳ
- 電源電圧
- 単相 AC200V±10%,50/60Hz±5%
- 高周波出力
- 最大(常用)6KW(6KW)
- 発振周波数
- 350~450KHz(加熱コイルの仕様による)
- 共振方式
- LC直列共振
- スイッチング方式
- パワーMOS-FETフルブリッジ型インバータ
- 冷却方式
- 水冷式(加熱コイル、共振コンデンサ、高周波トランス、スイッチング素子)・空冷ファン
- 使用冷却水量
- 約3.5L/min(水圧0.25MPaの場合)
- 手動制御
- 定出力制御:ボリュームによる出力調整(0~100%,0.1%刻み)
定温制御:ボリュームによる温度調整(室温~最大値,1°C刻み) - 自動制御
- プログラム出力・温調制(プログラム数:10,ステップ数:15/1プログラム)
- リモート制御
- 外部信号による制御(4~20mA)
- 温度入力 ※5
- 熱電対(K, J, E, W, N, R, S, B, T)
放射温度計(220-2000,300-2000,600-2000,600-3000°C) - 安全装置
- 漏電ブレーカ、速断ヒューズ、冷却水流量、温度、漏水検知、共振モニタリング、センサー異常(断線検出)、温度上・下限過電流、非常停止など
- 汎用入出力
- 入力:8点(内1点は非常停止専用)出力:8点(DC24V、20mA)
- 使用環境
- 屋内使用,高度2000m以下、汚染度2
- 使用周囲温度(湿度)
- 5~40°C(20~85%RH)結露しないこと
- 保存周囲温度(湿度)
- -10~60°C(85%RH以下)結露氷結しないこと
- 制御部
- 400[W]×300[D]×300[H]mm (15kg)
- 加熱部
- 400[W]×500[D]×320[H]mm (31kg)
標準付属品
- 保証書
- 「高周波利用許可申請」の手引き
- コイル端子安全カバー
- 接続丸コネクタケーブル
- 接続AC200ケーブル
- 電源ケーブル(標準5m) 3芯 5.5mm²(8.0mm²)
- 取扱説明書
- 接続D-SUB25Pケーブル
- 接続直流ケーブル
- 給排水チューブ 3m×2本
- 給排水マニホールド(標準5m)φ21×φ15
設備条件(ユーティリティー)
- 供給電源条件単相AC200V10%,50/60Hz±5%,25A以上(αⅣは35A以上)
- 冷却水条件供給圧力:0.25~0.50MPa(差圧0.25以上)
- 供給水温:20°C〜25°C(水温が25°C以上の場合は、冷却水循環装置をご使用ください。)
- 供給水質:上水道(水道水)と同等以上、詳細については(社)日本冷凍空調工業会の冷凍空調機器用水質ガイドラインに準ず(JRA-GL-02-1994)
- その他オプション品の周辺装置で真空排気、ガス供給が必要な場合は、別途ご相談させて頂きます。
Function機能

メインメニュー
多彩な制御モードを搭載
- 自動制御 温度・出力プログラム制御
- 手動制御 定温度・定出力制御
- リモート制御 外部入力による制御
- 多彩な拡張性 汎用入出力搭載 PLCとの連携にも対応
- 冷却水インジケータ 冷却水トラブルを防止

自動制御
最大10プログラムパターンを搭載
- 最大150ステップと多様な温度/出力プロセスに対応
- プロセスの設定、進捗状況が一目で分かる、グラフィック表示

手動制御
安定した出力制御
- 目標値(SV)は出力、温度の2モードに対応
- 電源/負荷変動に対し自動フィードバックによる定値制御で安定的な加熱を実現

アラーム
アラーム・履歴の表示と充実の安全対策
- システムエラー、アラーム、発生履歴の管理によりトラブル発正時の原因追求が容易
- トラブル発生にも多くの安全対策により安全性を確保

自動センシング
マッチングの自動調整
- 加熱コイル、試料変更時のマッチング調整を自動化、面倒な作業は不要
- 常に最適な加熱を実現

リモート制御
外部からの制御にも標準対応
- 外部制御への対応により産業機器等のシステムへの組み込みも容易

制御パラメータ
豊富な温度入力
- 9種類の熱電対と4種類の放射温度計により、低温から超高温域まで対応可能。
- 放射温度計の操作もタッチパネル画面で簡単操作

トレンド&データログ
データの管理をサポート
- トレンド機能により加熱時の出力、温度をリアルタイム表示
- 高速サンプリングのデータログ機能により、測定したデータをPCに転送、データ分析、管理が可能(CSV形式)
加熱能力の目安
高融点材料のカーボングラファイト・W・Mo・Taるつぼなどを用いることで超高温加熱(2000℃以上)が可能です
超高温加熱例
カーボングラファイト製のるつぼとカーボンファイバー製の遮蔽材で構成した加熱
カーボンるつぼによる超高温加熱と冷却
材質別加熱状況
電磁誘導加熱
電磁誘導作用を利用し、加熱コイルに高周波電流を流すことで磁束を発生させます。
発生した磁束は、加熱コイル内の被加熱物を通過します、この磁束の変化を受けて被加熱物内に高密度の【うず電流】が流れます
流れた電流と固有抵抗に応じ、ジュール熱が発生し被加熱物だけが加熱されます。
電磁誘導作用
加熱の原理
誘導加熱とは
- 急速加熱・急速冷却
-
加熱したいものだけを加熱、熱マスが小さく、急速加熱が可能
最小限の加熱のため、短時間で冷却、被加熱物回収迄の時間を短縮できます - 超高温加熱
- 小型ながらもハイパワーで時間を掛けず、2000°Cを越える超高温加熱を手軽に実現
- 高効率・省エネ
-
高効率化と小型・軽量化により、消費電力低減と省スペースに貢献します
電気炉のような無駄な予熱を必要とせず、運転開始で直ぐに加熱ができます - クリーン加熱
-
燃焼方式と違い騒音や燃焼による生成物が発生しません
非接触での加熱であるため、被加熱物を汚染することがありません - 雰囲気加熱
-
電磁波の透過により加熱しますので、加熱雰囲気を低コストで作製できます
酸化・不活性・還元雰囲気でもヒータのような劣化がありません
Optionオプション
-
ファイバ式 放射温度計
-
ルツボ類
-
自動昇降式真空・ガス置換ユニット UD-250
-
90度回転鋳造式 真空ガス置換 チャンバー
-
グローブボックス組込型 真空ガス置換ユニット GUD-500
-
異形加熱コイル
- 熱電対(K,J,E.W.N.R.S,B,T)
- 保温断熱材
- 冷却水循環装置(チラー)
- 付属接続ケーブル(4種)延長
- 簡易置換ユニット
- 真空計(ピラニ、ペニングなど)
- 真空ポンプ(RP.DP,TMPなど)
- 真空系配管、フランジ、バルブ類
- 本体・周辺装置用架台
Example活用事例
加熱•溶融
- 直接加熱
- 急速加熱
- 雰囲気加熱
- プログラム加熱
- 新素材の開発(合金作製、超高温処理)・金属精製(ゾーンメルティング)
- バルク熱処理(焼ならし、焼鈍し、焼入れ、焼戻し、溶体化)
- サーフェース熱処理(浸炭、窒化、酸化、軟化、滑化、改質)
- モータコイルのワニス含浸
- カーボンダイスによるホットプレス
ロウ付け
- 直接加熱
- 急速加熱
- 雰囲気加熱
- プログラム加熱
- ハイメチックシール
- 超硬チップ(バイト・チップソー)
- ハンダ付け(電子、家電、自動車部品)
- 冷却コイル・配管施行
- メガネフレーム・装飾品
結晶成長•蒸着
- 間接加熱
- 雰囲気加熱
- プログラム加熱
- シリコン単結晶引き上げ
- エピタキシャル成長
- コンデンサ用蒸着
- 蒸着メッキ
局部加熱
- 直接加熱
- 間接加熱
- 連続加熟
- 定出力加熱
- プログラム加熱
- 製缶接着
- キャップシール接着
- ゲッターフラッシュ
- 鋼線熱処理(アニール処理、静電塗装加熱硬化)
- 金属製冷凍容器からの分離(脱パン)
- 接着剤の熱硬化
熱サイクル試験
- 直接加熱
- 急速加熱急冷
- サイクル加熱
- ブログラム加熱
- タービン・プラグ熱疲労試験
- クリープ熱疲労試験
- 酸化試験
焼嵌め
- 直接加熱
- 急速加熱急冷
- プログラム加熱
- 切削ツール
- モーターシャフト
- ローターベアリン