Features特長
汎用性
市販のPLCや温調器から簡単に制御
レイアウトフリー
新構造でユニットの配置はシステムに合わせ自由にレイアウトが可能
簡単設置
コネクタ端子台の採用でDINレール取り付けにも対応
簡単操作
パラメータなどの設定変更は、操作ユニット(別売)から簡単操作
安全性
豊富な安全対策で高い安全性を実現
雰囲気制御
周辺機器との組合せで真空・雰囲気加熱にも対応
Specification仕様
MU-CubeⅢ
- 電源電圧
- 単相AC200V±10%,50/60Hz±5%
- 高周波出力
- 最大(常用)4kW(2kW)
- 発振周波数
- 350~450kHz(加熱コイルの仕様による)
- 共振方式
- LC直列共振
- スイッチング方式
- パワーMOS-FET フルブリッジ型インバータ
- 冷却方式
- 水冷式(加熱コイル,共振コンデンサ,高周波トランス,スイッチング素子)・空冷ファン
- 使用冷却水量
- 水約1.0L/min(水圧0.25MPaの場合)
- 制御方式
- リモート制御 起動/停止信号:ドライ接点入力,出力率0~100%:アナログ入力(4~20mA)
- 制入出力信号
- 入力4点(ドライ接点)非常停止(b接),アラーム解除,外部冷却水弁開/閉,周辺機器異常
出力4点(DC24V)スタンバイ,運転中,装置異常,冷却水異常 - 安全装置
- 漏電ブレーカ,速断ヒューズ,冷却水流量・水温検知,共振モニタリング,過電流異常,非常停止など
- 使用環境
- 屋内使用,高度2000m以下,汚染度2
- 使用周囲温度(湿度)
- 5~40℃(25~85%RH)結露しないこと
- 保存周囲温度(湿度)
- -10~60℃(85%RH以下)結露,凍結しないこと
- 外形寸法(重量)
- 制御部 260[W]×260[D]×245[H]mm(10kg)
加熱部 260[W]×270[D]×170[H]mm(8kg)
操作ユニット(別売) 200[W]×55[D]×200[H]mm(2kg)
標準付属品
- 電源ケーブル3芯5.5mm2(5m)
- D-SUB37P接続コネクタケーブル(2m)
- DC280V渡りケーブル(2m)
- 丸コネクタ接続ケーブル(2m)
- 入出力コネクタ接続ケーブル(2m)
- 入出力端子台
- 給排水チューブφ6-4mm(3m×2本)
- 給排水マニホールドφ21-15mm(5m)
- 取扱説明書
- 製品保証書
- 「高周波利用設備申請」の手引き
- Log-Tool用PCソフト・取扱説明書
- USBケーブル(1m)
設備条件(ユーティリティー)
- 供給電源条件 単相AC200V±10%,50/60Hz±5%,25A以上
- 冷却水条件 供給圧力:0.25~0.50MPa(差圧0.25MPa以上)
- 冷却水条件 供給水温:20~25℃(水温が25℃以上の場合は、冷却水循環装置をご使用ください)
- 冷却水条件 供給水質:上水道(水道水)と同等以上、詳細については(社)日本冷凍空調機器用水質ガイドラインに準ず(JRA-GL-02-1994)
- その他 オプション品の周辺装置で真空排気、ガス供給が必要な場合は、別途ご相談させて頂きます
Function機能
制御システム構成イメージ
PLCによる制御

温調器による制御

Optionオプション
-
ファイバ式 放射温度計
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ルツボ類
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自動昇降式真空・ガス置換ユニット UD-250
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90度回転鋳造式 真空ガス置換 チャンバー
-
グローブボックス組込型 真空ガス置換ユニット GUD-500
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異形加熱コイル
- 熱電対(K,J,E.W.N.R.S,B,T)
- 保温断熱材
- 冷却水循環装置(チラー)
- 付属接続ケーブル(4種)延長
- 簡易置換ユニット
- 真空計(ピラニ、ペニングなど)
- 真空ポンプ(RP.DP,TMPなど)
- 真空系配管、フランジ、バルブ類
- 本体・周辺装置用架台
- 操作ユニット(別売品)