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小型誘導加熱装置

技術情報

真空ポンプ

真空ポンプの分類

大気圧より低い圧力を作るための機器、装置

1. 真空ポンプの原理

機械的空気移送ポンプ ピストン運動やローターの羽を回転することにより機械的に空気を移送する。
ダイアフラムポンプ・ピストン型真空ポンプ、油回転真空ポンプ、スクロールポンプ、メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプなどが上げられる。
分子ポンプ 気体の移動が分子領域で使用する真空ポンプで大気圧からは使用できないため必ず補助ポンプ(油回転真空ポンプやスクロールポンプ等)を必要とする。油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ等がこれにあたる。
油拡散ポンプ
ターボ分子ポンプ
溜め込み式ポンプ
気体を冷却したり、イオン化したり、また、吸蔵合金などの方法で閉じ込める。
このタイプのポンプはフル吸蔵のときにデガスが必要となる。
クライオポンプ、イオンポンプ、ソープションポンプ等がこれにあたるが、やはり補助ポンプを必要とする。

2. 乾式・湿式

ドライポンプ 潤滑剤やシール材として油や水等を使用しないポンプ
ダイアフラムポンプ、ロッキングピストンポンプ、スクロールポンプ、ターボ分子ポンプ、イオンポンプ、クライオポンプ、ソープションポンプ、メカニカルブースターポンプ
(メカニカルブースターポンプの中にはギヤーボックスに油を使うタイプもある)
ウエットポンプ 潤滑剤やシール材として油や水を使うポンプ
油回転真空ポンプ、油拡散ポンプ、水風式ポンプ

3. ポンプの圧力帯一覧表

低真空〜中真空 101Kpa 10Kpa 1Kpa 100pa 10pa 1pa
1. ピストンポンプ・アスピレータ 対応          
2. ダイアフラムポンプ 対応 対応 対応      
3. ロッキングピストンポンプ 対応 対応 対応      
4. 油回転真空ポンプ 対応 対応 対応 対応 対応 0.67
高真空〜超高真空 10-1pa 10-2pa 10-3pa 10-4pa 10-5pa 10-6pa以下
1. メカニカルブースターポンプ 0.04          
2. 油拡散ポンプ 対応 対応 対応 対応 対応  
3. ターボ分子ポンプ 対応 対応 対応 対応 対応 対応
4. クライオポンプ 対応 対応 対応 対応 対応 対応
  パスカル
(SI単位)
バール 工学気圧 気圧 トル psi
1 Pa ≡ 1 N/m2 = 10-5 bar ≈ 10.2×10-6 at ≈ 9.87×10-6 atm ≈ 7.5×10-3 Torr ≈ 145×10-6 psi
1 bar = 100 000 Pa ≡ 106 dyn/cm2 ≈ 1.02 at ≈ 0.987 atm ≈ 750 Torr ≈ 14.504 psi
1 at = 98 066.5 Pa = 0.980665 bar ≡ 1 kgf/cm2 ≈ 0.968 atm ≈ 736 Torr ≈ 14.223 psi
1 atm = 101325 Pa = 1.01325 bar ≈ 1.033 at ≡ p0 = 760 Torr ≈ 14.696 psi
1 Torr ≈ 133.322 Pa ≈ 1.333×10-3 bar ≈ 1.360×10-3 at ≈ 1.316×10-3 atm ≡ 1 mmHg ≈ 19.337×10-3 psi
1 psi ≈ 6894.757 Pa ≈ 68.948×10-3 bar ≈ 70.307×10-3 at ≈ 68.046×10-3 atm ≈ 51.7149 Torr ≡ 1 lbf/in2
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